測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用於(yu) 錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀(yi) 器。廣泛地適用於(yu) 計量室、生產(chan) 作業(ye) 線及科學研究等部門。工作台除作X、Y坐標的移動外,還可以作360度的旋轉,亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明係統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀(yi) 器進一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數據處理等測量。
技術參數:
1、鏡筒:粗動:調節範圍 90毫米,微動:調節範圍2毫米,高(Z)測量:範圍1毫米,讀數min0.001毫米(比較測量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45度;
2、工作台:左右(X軸):移動範圍25毫米,前後(Y軸):移動範圍25毫米,分辨率:1微米,旋轉:360度;
3、照明係統:光源:透射照明,8V12W 藍、綠色濾光片、反射照明,8V12W 磨沙燈泡、綠色透光片、斜 照 明、8V12W綠色濾光片、電源:AC220±22V 50/60Hz;
4、光學係統:目鏡:BWF 10X;物鏡:4X、工作距離17.5、焦距28.8,10X、工作距離11.6、焦距15.4,40X、工作距離0.66、焦距4.4;
5、X---Y軸測量範圍:50×13mm;
6、測微器分度值:0.01mm;
7、圓工作台角度測量範圍:0°/360°;
8、儀(yi) 器測量準確度:儀(yi) 器示值誤差±(5+L/15);
9、放大倍數 25×/100×
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