測量顯微鏡的基本原理

       與(yu) STM類似，在AFM中，使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表麵作光柵式掃描。當針尖和樣品表麵的距離非常接近時，針尖的原子與(yu) 樣品表麵的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N)，此時，微懸臂就會(hui) 發生微小的彈性形變。針尖與(yu) 樣品之間的力F與(yu) 微懸臂的形變之間遵循虎克定律:F=-k*x ，其中，k為(wei) 微懸臂的力常數。所以，隻要測出微懸臂形變量的大小，就可以獲得針尖與(yu) 樣品之間作用力的大小。

       針尖與(yu) 樣品之間的作用力與(yu) 距離有強烈的依賴關(guan) 係，所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與(yu) 樣品之間的作用力恒定，即保持為(wei) 懸臂的形變量不變，針尖就會(hui) 隨樣品表麵的起伏上下移動，記錄針尖上下運動的軌跡即可得到樣品表麵形貌的信息。這種工作模式被稱為(wei) "恒力"模式(Constant Force Mode)，是使用廣泛的掃描方式。

       AFM的圖像也可以使用"恒高"模式(Constant Height Mode)來獲得，也就是在X，Y掃描過程中，不使用反饋回路，保持針尖與(yu) 樣品之間的距離恒定，通過測量微懸臂Z方向的形變量來成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時用得比較多，而對於(yu) 表麵起伏比較大的樣品不適用。